我想問等離子體產(chǎn)生原理是什么？

李

等離子體是氣體分子在真空,放電等特殊場(chǎng)合下產(chǎn)生的獨(dú)特現(xiàn)象和物質(zhì).典型的等離子的組成是，電子,離子,自由基和質(zhì)子.就好象把固體轉(zhuǎn)變成氣體需要能量一樣，產(chǎn)生離子體也需要能量.一定量的離子體是由帶電粒子和中性粒子(包括原子,離子和自由粒子)混合組成.離子體能夠?qū)щ?，和電磁力起反?yīng).

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吳

等離子體是氣體分子在真空,放電等特殊場(chǎng)合下產(chǎn)生的獨(dú)特現(xiàn)象和物質(zhì).典型的等離子的組成是，電子,離子,自由基和質(zhì)子.就好象把固體轉(zhuǎn)變成氣體需要能量一樣，產(chǎn)生離子體也需要能量.一定量的離子體是由帶電粒子和中性粒子(包括原子,離子和自由粒子)混合組成.離子體能夠?qū)щ?，和電磁力起反?yīng).
等離子清洗/刻蝕機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng)，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來愈長，受電場(chǎng)作用，它們發(fā)生碰撞而形成等離子體，這時(shí)會(huì)發(fā)出輝光，故稱為輝光放電處理.輝光放電時(shí)的氣壓大小對(duì)材料處理效果有很大影響，另外與放電功率，氣體成分及流動(dòng)速度,材料類型等因素有關(guān).
等離子體有一些顯著的特征：
1) 氣體產(chǎn)生輝光現(xiàn)象，常稱為"輝光放電".由于是真空紫外光，其對(duì)蝕刻率有十分積極的影響.
2)氣體中包含中性粒子,離子和電子.由于中性粒子和離子溫度介于102-103K，電子能量對(duì)應(yīng)的溫度高達(dá)105K，它們被稱為"非平衡等離子體"或"冷等離子體".但是它們卻表現(xiàn)出電中性(準(zhǔn)中性).
3) 氣體所產(chǎn)生的自由基和離子活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng).等離子體中粒子的能量一般約為幾個(gè)至幾十電子伏特，大于聚合物材料的結(jié)合鍵能(幾個(gè)至十幾電子伏特)，完全可以破裂有機(jī)大分子的化學(xué)鍵而形成新鍵;但遠(yuǎn)低于高能放射性射線，只涉及材料表面，不影響基體的性能
等離子體可以通過直流或高頻交流電場(chǎng)產(chǎn)生.當(dāng)采用交流時(shí)，只能選用電信規(guī)定的科研及工業(yè)用頻段(中頻(MF)40KHz,高頻(HF)13.56MHz,微波頻率(MW)2.45GHz)，否則會(huì)干擾無線電通信.

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吳女士

利用激發(fā)光源產(chǎn)生的能量作用于樣品，當(dāng)某一能量施加到一個(gè)原子上，一些電子就改變其軌道，當(dāng)這些電子返回到原來的軌道時(shí)，以一定波長的光形式恢復(fù)到原來的狀態(tài).因而，一個(gè)含有幾種不同元素的樣品將產(chǎn)生有每種元素特定的波長組成的光，通過用一色散系統(tǒng)將這些波長分開，我們就能測(cè)定存在哪一種元素和這些波長中每一種波長的強(qiáng)度，這些強(qiáng)度和相應(yīng)的元素的濃度成一定的函數(shù)關(guān)系.同時(shí)利用電子接收系統(tǒng)測(cè)量這種發(fā)光強(qiáng)度，再用計(jì)算機(jī)處理這些信息，這樣就可以測(cè)出相關(guān)元素的濃度.

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陳經(jīng)理

等離子體是氣體分子在真空,放電等特殊場(chǎng)合下產(chǎn)生的獨(dú)特現(xiàn)象和物質(zhì).典型的等離子的組成是，電子,離子,自由基和質(zhì)子.就好象把固體轉(zhuǎn)變成氣體需要能量一樣，產(chǎn)生離子體也需要能量.一定量的離子體是由帶電粒子和中性粒子(包括原子,離子和自由粒子)混合組成.離子體能夠?qū)щ?，和電磁力起反?yīng).
等離子清洗/刻蝕機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng)，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來愈長，受電場(chǎng)作用，它們發(fā)生碰撞而形成等離子體，這時(shí)會(huì)發(fā)出輝光，故稱為輝光放電處理.輝光放電時(shí)的氣壓大小對(duì)材料處理效果有很大影響，另外與放電功率，氣體成分及流動(dòng)速度,材料類型等因素有關(guān).
等離子體有一些顯著的特征：
1) 氣體產(chǎn)生輝光現(xiàn)象，常稱為"輝光放電".由于是真空紫外光，其對(duì)蝕刻率有十分積極的影響.
2)氣體中包含中性粒子,離子和電子.由于中性粒子和離子溫度介于102-103K，電子能量對(duì)應(yīng)的溫度高達(dá)105K，它們被稱為"非平衡等離子體"或"冷等離子體".但是它們卻表現(xiàn)出電中性(準(zhǔn)中性).
3) 氣體所產(chǎn)生的自由基和離子活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng).等離子體中粒子的能量一般約為幾個(gè)至幾十電子伏特，大于聚合物材料的結(jié)合鍵能(幾個(gè)至十幾電子伏特)，完全可以破裂有機(jī)大分子的化學(xué)鍵而形成新鍵;但遠(yuǎn)低于高能放射性射線，只涉及材料表面，不影響基體的性能
等離子體可以通過直流或高頻交流電場(chǎng)產(chǎn)生.當(dāng)采用交流時(shí)，只能選用電信規(guī)定的科研及工業(yè)用頻段(中頻(MF)40KHz,高頻(HF)13.56MHz,微波頻率(MW)2.45GHz)，否則會(huì)干擾無線電通信.

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zxs374823

等離子體是氣體分子在真空,放電等特殊場(chǎng)合下產(chǎn)生的獨(dú)特現(xiàn)象和物質(zhì).典型的等離子的組成是，電子,離子,自由基和質(zhì)子.就好象把固體轉(zhuǎn)變成氣體需要能量一樣，產(chǎn)生離子體也需要能量.一定量的離子體是由帶電粒子和中性粒子(包括原子,離子和自由粒子)混合組成.離子體能夠?qū)щ?，和電磁力起反?yīng).
等離子清洗/刻蝕機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng)，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來愈長，受電場(chǎng)作用，它們發(fā)生碰撞而形成等離子體，這時(shí)會(huì)發(fā)出輝光，故稱為輝光放電處理.輝光放電時(shí)的氣壓大小對(duì)材料處理效果有很大影響，另外與放電功率，氣體成分及流動(dòng)速度,材料類型等因素有關(guān).
等離子體有一些顯著的特征：
1) 氣體產(chǎn)生輝光現(xiàn)象，常稱為"輝光放電".由于是真空紫外光，其對(duì)蝕刻率有十分積極的影響.
2)氣體中包含中性粒子,離子和電子.由于中性粒子和離子溫度介于102-103K，電子能量對(duì)應(yīng)的溫度高達(dá)105K，它們被稱為"非平衡等離子體"或"冷等離子體".但是它們卻表現(xiàn)出電中性(準(zhǔn)中性).
3) 氣體所產(chǎn)生的自由基和離子活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng).等離子體中粒子的能量一般約為幾個(gè)至幾十電子伏特，大于聚合物材料的結(jié)合鍵能(幾個(gè)至十幾電子伏特)，完全可以破裂有機(jī)大分子的化學(xué)鍵而形成新鍵;但遠(yuǎn)低于高能放射性射線，只涉及材料表面，不影響基體的性能
等離子體可以通過直流或高頻交流電場(chǎng)產(chǎn)生.當(dāng)采用交流時(shí)，只能選用電信規(guī)定的科研及工業(yè)用頻段(中頻(MF)40KHz,高頻(HF)13.56MHz,微波頻率(MW)2.45GHz)，否則會(huì)干擾無線電通信.

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偏執(zhí)的青春

等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊場(chǎng)合下產(chǎn)生的獨(dú)特現(xiàn)象和物質(zhì)。典型的等離子的組成是，電子、離子、自由基和質(zhì)子。就好象把固體轉(zhuǎn)變成氣體需要能量一樣，產(chǎn)生離子體也需要能量。一定量的離子體是由帶電粒子和中性粒子(包括原子、離子和自由粒子)混合組成。離子體能夠?qū)щ?，和電磁力起反?yīng)。
等離子清洗/刻蝕機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng)，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來愈長，受電場(chǎng)作用，它們發(fā)生碰撞而形成等離子體，這時(shí)會(huì)發(fā)出輝光，故稱為輝光放電處理。輝光放電時(shí)的氣壓大小對(duì)材料處理效果有很大影響，另外與放電功率，氣體成分及流動(dòng)速度、材料類型等因素有關(guān)。

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